Silicium-Wafer — Organische Verunreinigung

In diesem Beispiel wurde ein Silicium-Wafer mit dem simultanen thermischen Analysator STA 449 F1 Jupiter®, gekoppelt mit dem Massenspektrometer QMS Aëolos Quadro, gemessen.
Die große Probe mit 1,6 g wurde in einen großen Al2O3-Tiegel mit einem Volumen von 5 ml platziert. Die Messung bis 800 °C fand mit einer Heizrate von 10 K/min in synthetischer Luft statt.
Zwei sehr geringe Massenverluststufen (0,002 % und 0,008 %) treten unterhalb von 700 °C aufgrund der Freisetzung organischer Komponenten auf.
Für eine übersichtliche Darstellung werden hier nur die Massenzahlen m/z 15, 51 und 78 dargestellt.

STA-MS-Messung an einem Silicium-Wafer;die Massenzahlen m/z 15, 78 und 51 können den Massenverluststufen zwischen 500 °C und 800 °C zugeordnet werden.STA-MS-Messung an einem Silicium-Wafer; die Massenzahlen m/z 15, 78 und 51 können den Massenverluststufen zwischen 500 °C und 800 °C zugeordnet werden.