Silicium-Wafer — Thermophysikalische Eigenschaften

In diesem Beispiel wurden die thermophysikalischen Eigenschaften eines Silicium-Wafers mit der LFA 457 MicroFlash® gemessen. Im Temperaturbereich von -100 °C bis 500 °C nehmen Wärmeleitfähigkeit und Temperaturleitfähigkeit kontinuierlich ab.
Für die Bestimmung der spezifischen Wärmekapazität wurde die DSC 204 F1 Phoenix® verwendet. Die Standardabweichung der Datenpunkte ist kleiner 1 %.

LFA- und DSC-Messung an einem Silicium-Wafer zwischen -100 °C und 500 °C.LFA- und DSC-Messung an einem Silicium-Wafer zwischen -100 °C und 500 °C.
DSC 204 F1 Phoenix® - die Premium-DSC von -180°C bis 700°C

Höchste Empfindlichkeit und höchste Trennschärfe sind bei dieser Premium-DSC (Dynamisches Differenzkalorimeter) Programm. Ebenso realisiert: Temperaturmodulation (TM-DSC), ein automatischer Probenwechsler (ASC) mit 64 Positionen und die Möglichkeit, mit einem Gasanalysesystem (QMS und/oder FT-IR) zu koppeln.

LFA 457 MicroFlash® - Laser Flash Apparatur

Die LFA 457 MicroFlash®, Laser Flash Apparatur, ist das modernste Produkt für die Bestimmung der Temperatur- und Wärmeleitfähigkeit im Bereich -125 °C bis 1100 °C. Der kompakte, vakuumdichte Aufbau, der automatische Probenwechsler und die funktionale Software garantieren höchste Effektivität bei anspruchsvollen Materialuntersuchungen.