TDRA
パルス光加熱サーモリフレクタンスアナライザー
パルス光加熱によるサーモリフレクタンス
産業界の要請に応え、産業技術総合研究所（AIST）は、90年代前半に「「パルス光加熱式サーモリフレクタンス法」を開発しました。AIST技術移転ベンチャー企業のピコサーム株式会社は2008年に設立され、ナノ秒サーモリフレクタンスアナライザー「NanoTR」とピコ秒サーモリフレクタンスアナライザー「PicoTR」を発売し、数10μmからナノメートル領域までの薄膜の熱拡散率を絶対測定が可能となりました。
2020年10月、ピコサーム株式会社はNETZSCH Japan株式会社の子会社としてNETZSCHグループの一員となり、NETZSCH社のLFAシステムとの組み合わせにより、ナノメートルレンジの薄膜からミリメートルレンジのバルク材までのソリューションを提供することができるようになりました
Our Products
- PicoTR
Time DomainA time domain analysis is based on changes in physical signals related to time. A time-domain graph shows how a signal changes over time. In the case of thermoreflectance or the laser flash method, the detector signal (voltage change) is recorded – at a minimum – over the time range between the energy input and the signal maximum (e.g., RF mode) or as a function of the expected heat diffusion time (e.g., FF mode).Time Domain ThermoreflectanceThermoreflectance is a method for determining the thermal diffusivity and thermal conductivity of thin films with thicknesses in the nanometer range.Thermoreflectance using Pulsed Light Heating
- Pulse width: 0.5 ps
- 10 nm ... 900 nm Sample Thickness
- 0.01 ... 1000 mm²/s Range
