Pastilha de Silício — Contaminação Orgânica

Neste exemplo, uma pastilha de silício foi testada com o Analisador Térmico Simultâneo STA 449 F1 Jupiter®, acoplado ao espectrômetro de massas QMS 403 Aëolos Quadro.

Uma amostra grande (1,6 g) foi colocada num cadinho de Al2O3 (volume de 5 ml) e aquecida até 800 ° C à 10 K / min, em atmosfera de ar sintético.

Duas etapas de perda de massa muito pequenas (0,002% e 0,008%) ocorrem antes de 700 ° C, devido à liberação de componentes orgânicos.

Para garantir uma clara demonstração, apenas os números de massa m / z 15, 51, e 78 são apresentados aqui.

STA-MS measurement of a silicon wafer; mass numbers m/z 15, 78 and 51 are correlated to the mass-loss step between 500°C and 800°C.STA-MS measurement of a silicon wafer; mass numbers m/z 15, 78 and 51 are correlated to the mass-loss step between 500°C and 800°C.